光、磁流变抛光和磁控溅射的技术文档发过来。
与此同时。
沪城，星源科技光学研发中心。
林南倚在实验台前，双眼满是红血丝，神色黯淡。
汪象朝坐在一旁，拍了拍林南的肩膀说道：“别着急，车到山前必有路，慢慢啃呗，既然方案都有了，还怕搞不定工艺问题？”
沪城光机所的一名专家点头附和道：“以前我们不需要皮米级别的抛光精度，所以技术进展就慢，现在不一样了，只要搞定照明系统的非球面反射镜，这EUV光刻机的光学系统，就等于拿下了一半的核心技术。”
话虽如此，实验室里的气氛却没怎么缓和。
林南苦笑一声，指着桌上的检测报告：“道理都懂，可现实摆在这里，我们的仪器测试精度仅有亚纳米水准，面形精度够不够，压根不知道。”
这无异于闭着眼睛走路，方向对不对都不确定，怎么提升？
燕京光电所的年轻工程师语气哽咽，一脸绝望地小声呢喃道：“难道没有国外的技术支持，我们就造不出EUV光刻机的核心部件吗？”
这话就像一根钢针，把所有人的信心都给戳破了。
“放屁！人家花了几十年积累的技术，我们才用了几天？这点耐心都没有吗？”
汪象朝猛地站起身，大声反驳道：“一个月时间，我们就把照明系统的方案推演出来了，这说明思路是对的。
我已经和长春、燕京光机所的人沟通好了，接下来大家齐头并进：咱们先攻坚投影物镜系统，等抛光和镀膜技术达标后，再整合各项技术，总能把这块硬骨头啃下来。”
他的话像一剂强心针，让实验室里低迷的气氛稍稍回暖。
林南深吸一口气，跟着站起来说道：“汪老说得对，咱们先按照分工，集中精力攻投影物镜系统的光路设计。”
沪城光机所的专家立刻拿出图纸，指着上面复杂的光路结构：“投影物镜得把照明系统过来的光束精准聚焦到晶圆上，而且要消除各种像差，这对镜片的曲率精度要求比反射镜还高。
我们之前设计的光路，在模拟环境中还存在0.5弧秒的像差偏差，得再优化。”
汪象朝凑到图纸前补充道：“我查过资料，蔡司的投影物镜用了15片高精度镜片，每片的面形误差都控制在20皮米以内。
我们要是能把像差偏差降到0.2弧秒以下，后续工艺跟上，说不定就能赶上他们的水平。”
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