说说A3X的情况吧。」
破晓A3X，是星源科技研发的一款高数值孔径EUV光刻机，设计波长13.5纳米不变，但数值孔径从A220的0.33提升到0.55。
梁劲松听後，不慌不忙地翻过几页PPT，投影上跳出一张全新的技术架构图，中央赫然标注着「破晓A3XHigh—NAEUV」几个大字。
「老板，A3X的量产验证已完成，第一批的六台量产机在上周全部下线，随时可以投入使用。
其中三台做好了出厂检测，剩下三台正在进行最後的光学系统微调，预计本周五之前也能全部就绪。」
梁劲松语气沉稳，条理清晰地答道。
新品发布会定在九月五日，也就是下周二。
场地、媒体邀请、客户名单均已确认完毕，连新闻通稿的初稿都已完成，前期筹备工作基本就绪也是很正常的事。
陈延森微微颔首，示意梁劲松继续汇报。
梁劲松用雷射笔圈住架构图左侧的模块，开始介绍核心参数：「A3X搭载的是第四代锡靶等离子体光源，输出功率达到800瓦，是A220光源功率的三倍以上。
量产机实测数据比工程样机还要稳定，连续运行九十六小时，功率波动控制在正负零点二五个百分点以内。」
800瓦，稳定运行九十六小时，波动不超过千分之二点五。
这已经不是领先一代的问题了！
等破晓A3X光刻机的核心参数公布後，欧美地区的光刻机研发机构，怕是当场就会放弃追赶的想法。
梁劲松继续往下说，雷射笔移到了架构图的投影物镜模组区域：「数值孔径0.55，这是A3X最核心的技术指标。
采用了8X变形投影光学系统，物镜组中引入了非球面加自由曲面混合透镜阵列，一共十七片光学元件，其中六片是自由曲面镜，面型精度做到了30皮米RMS以下。」
一个皮米是一万亿分之一米。
这意味着，十七片镜片中每一片的表面起伏，都不超过大约三分之一个原子的直径。
梁劲松翻到新的一页PPT，上面是一张柱状图，横轴是时间，纵轴是每小时晶圆处理量。
「A3X的量产吞吐量是每小时380片12英寸晶圆，这个数字是六台量产机的平均值，最高的一台跑到了每小时411片。」
A3X的产能，相比A220足足提升了近一倍。
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