“我们的冷刻机有什么技术上的缺点?”他冷静询问。
邱连海也收起了脸上的激动。
“还有很多待解决的问题,目前最主要的有两个。”
他看着玻璃房内的无尘实验室,各种线路裸露,看上去非常粗野。
“母版的制作,依赖光刻机,我们需要先用光刻机,对母版进行光刻,目前我们应用的光刻机,只能在实验室完成65纳米的母版制作,想要更先进的母版,就必须用上它。”
邱连海指着背后另外一个无尘车间。
他的脸上有那么一丝的尴尬,这涉及到先有鸡还是先有蛋的问题,没有光刻机,就无法完成母版的制作,制作不出母版,压印技术是个笑话。
李修吾错愕了一下,回头看着那台拆开一半的12英寸光刻机。
他沉默了一下说道:“有用的就先用着,可以边应用,边攻克。”
李修吾没有技术洁癖,必须自己攻克,不管谁家的技术,他都愿意使用。
“第二个大的问题是,冷刻机需要的无尘等级,要比光刻机高两个等级。”
邱连海继续说出冷刻机的缺点:“和光刻机的无接触激光雕刻不同,而我们的冷刻机是压印技术,是有接触的芯片制造,就像活字印刷,任何一丝微尘附着,都会体现在芯片上,导致芯片全部损毁。”
李修吾点头:“要求严格没有问题,只要能突破技术的封锁就可以。”
“还有未来发展中,存在的拦路虎,目前我们遇到多层累积误差,高宽比脱模等问题需要攻克。”邱连海又介绍了几个问题,不过那都是向45纳米芯片研发的阻碍。
“虽然缺点名店,但我们的冷刻机,想不光刻机也有巨大的产能优势。”
“压印冷刻,就像活字印刷,只要模板不出问题,晶圆片不出现形变,我们的量产速度,是光刻机的几倍。”
“传统的纳米压印因为是热压,晶圆片会在遇热环境下形变,模板的复用性也很差。”
“我们的冷刻技术,已经完美解决这两个问题,与光刻机相比,产量大,速度快,成本低。”
李修吾点头,活字印刷,非常容易理解,他不是专业科研人员,却必须弄懂每一条原理。
他抱着双臂,看着无尘实验室中的粗野机器,思索着应用问题。
这台机器目前能做到量产110纳米芯片,玉牍现在使用的芯片就是110纳米。
但玉牍不能永远停
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