比点光源好得多。EUV的功率波动、光源寿命、光学系统污染,都是老大难问题。光刻工厂没有这些问题,因为它不是靠‘打’光,是靠‘铺’光。光路简单,维护容易,良品率高。”
“还有成本。ASML的EUV,一台卖一亿多欧元,还得排队等。光刻工厂的设备,我们自己造的,成本不到EUV的四分之一。产能是EUV的十倍。这意味着什么?意味着以后芯片的价格,不会再被ASML卡脖子了。”
这条帖子,被顶到了逼乎热榜第一。
评论区里,无数人感慨。
“以前我们是跪着买芯片,现在终于可以站着造芯片了。”
“ASML卡了我们多少年的脖子?现在好了,我们自己有更好的了。”
“这就是技术自主的意义。不是为了炫耀,是为了不受制于人。”
“感谢银河科技,感谢王东来。”
“那是不是说明以后我们的智能手机会便宜,毕竟芯片不用进口了,用国产的能降低成本。”
斗音上,一个叫“光刻工厂参观记”的账号火了。
视频里,一个年轻工程师穿着无尘服,站在光刻工厂的洁净车间里,身后是一排排银光闪闪的设备。
“大家好,我是银河半导体的工艺工程师。今天,我带大家看看我们的光刻工厂。”
他走到一台设备前,指着上面的显示屏:“这是我们的同步辐射光源,功率是ASML EUV的五十倍。但它的能耗,只有EUV的三分之一。为什么?因为我们用的是超导技术,息壤超导,你们听说过吧?就是我们公司搞出来的。”
他走到另一台设备前:“这是我们的光刻胶,我们独立研发出来的,拥有自主专利。分辨率、灵敏度、线宽粗糙度,全部达到国际先进水平。以前,高端光刻胶只能从樱花国进口,现在,我们自己也能造了。”
他走到第三台设备前:“这是我们的掩膜台,也是我们自主研发的。定位精度、重复精度、稳定性,全部达到国际先进水平。以前,高端掩膜台只能从德意志进口,现在,我们自己也能造了。”
他最后走到一台巨大的设备前,拍了拍它的外壳:“这是我们的光刻机主体,全自主设计、全自主制造。七纳米制程,良品率百分之九十二点三。五纳米制程,良品率百分之七十八点六。三纳米制程,已经在路上。”
他转过身,对着镜头,声音有些哽咽:“我入行十年,前七年,干的都是‘跟在别人屁股后
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