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第631章 全村的希望

作品:1991从芯开始作者:三分糊涂
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算是造出了双工件台,要真正运用在光刻机上,还需要进行不断的调试。

苏远山对机械不甚了解,他只知道,如果零部件误差在允许范围内的话,那么精度的提升就只能依靠纠偏系统了。

纠偏系统,顾名思义,就是纠正偏移的系统。它的工作原理说简单也简单,就是搭配光栅传感器,把精度控制、调整在可以接受的范围内。但说复杂也复杂,因为它对运动控制模块的要求相当高。

曲慧合上书,回答道:“计划当然是有计划,我们接下来会一直继续优化纠偏系统和运动控制模块,但现在没办法告诉你准确的进度。”

苏远山慢慢点头,突然问道:“首都高科对双工件台的出口计划是什么?”

郑振川和曲慧一对视,两人同时沉默。

片刻后,郑振川轻声道:“小山,我们被国外掐脖子掐得够厉害了,我认为我们的双工件台不需要出口。”

曲慧同样点头:“我也认为。”

……

苏远山长长地叹了一口气。

直到现在,他才终于弄明白了这二人的真正来意。

曲慧的想法,大概是她更多从要之前被掐脖子掐得狠了,现在终于轮到自己领先,要“爽一把”的角度来考虑。

而郑振川,则是考虑到双工件台所带来的效率提升,必定会赋予宏芯光刻机强大的竞争力——说白了,就是郑振川把国产光刻机的未来押在了双工件台上。

但显然……首都精科那边的想法不一样。

毕竟这是产品,而不是技术。

是,产品是存在着被山寨的可能,但别忘了,有种东西叫防拆自毁装置——这还是西方搞出来的。

一旦出口,则意味着首都精科将会拥抱更大的市场,拥有更高的平台,甚至还极有可能用双工件台来换取某些领域封锁的解除。

而世人皆知,远芯在半导体领域内,拥有无比的前瞻和影响力。

如果远芯能够表明态度,那么这双工件台到底是被列为禁止单独出口的设备,还是可以供货给目前世界所有的光刻机企业……或许就能尘埃落定了。

——这便是两人在双工件台刚好完成“拼装”,还处于保密期就来找苏远山的原因。

……

苏远山当然知道双工件台的重要性。

他而且还知道,在历史上的4年后,ASML就会利用上双工件台技术。而数年后,更是依靠磁悬浮双工件台和浸润式技术

…。。
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