传统的测试分辨率和焦距的方法是制作光刻线宽测试版，即在光刻版的各个区域上都均匀放置一组线宽测试图形，在圆片上曝光后用扫描电镜测试该图形的线宽数据，然后再来评价光刻机镜头各区域的分辨率和最佳焦距。我们这个算是一步到位，简单方便，啪的一闪，就能直接得出光刻机的参数了。”
“嗯，不错！”苏远山再次点头。
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两小时后，苏远山几乎是一路飘着走出了无尘室。
作为宏芯的代表，庞克明这次就不能再捡懒了，他也和林本坚，赵凯东，梁孟松等一起进入了会议室。
“客套话我就不说了，意义我也不重复了，论功行赏什么的……”苏远山见众人都笑了起来，他也呵呵一笑：“咱们要低调点，不能抢了上面的风头。”
“意思是，我们还要等上面验收？”庞克明看着苏远山，试探性地问道。
苏远山微微一笑，点了点头：“虽然咱们早就过了验收报喜的阶段，而且我们也没有拿国家的钱，不需要上头来检查什么的，更不需要对上面负责……但该给的面子还是要给嘛。”
在座几人纷纷点头。
纵然大家都是一心搞技术的工程师，但活了这么大岁数，这种又不违背原则，又能让国家开心的事，怎么都是支持的。
“不过这事儿你们别着急，庞工你也要给郑叔说一声，咱们这个消息要先保密起来——因为下个月半导体峰会就要召开了，现在初步想法是，等到半导体峰会结束之后再正式发布。”
“然后这段时间，你们看能不能抓紧时间进厂，把良率……”苏远山说着自己就愣了一下，随即不好意思地笑了起来：“哎呀，时间太紧了，估计来不及。”
梁孟松和庞克明相视一笑——进厂的话，那这活儿就应该是他俩来干了。
从现在到五月十五号半导体峰会，满打满算都只有一个月挂零的时间，要在这么短的时间内完成拆装——嗯，加班加点的话，也不是不行。但如果要正式投入使用，完善工艺和制程，那没有三五个月还真的是休想。
毕竟，这台浸润式DUV光刻机，它理论上可以提供太多太多的可能的了。
“这样，大家还是先锦衣夜行一段时间，这段时间，大家好好休个假，放松放松。等到半导体峰会之后，我们再说。”
“那让上头验收的事？”
“这事我先去找领导商量商量——别的人可以瞒，在沪市这
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