银河半导体的光刻工厂,从来都不是一个秘密。
它座落在唐都市高新区的边缘,被三米高的围墙和层层安保围住,像一个沉默的巨人,日夜不停地运转。
但外界对它的了解,仅限于“它能造芯片”这个层面。
至于怎么造的、造得怎么样、成本如何、良品率多少,都是谜。
这个谜,在今天被揭开了。
上午九点,银河科技官网和工信部官网同步发布了一份《关于银河半导体光刻工厂技术评估的报告》。
报告不长,只有八页,但每一页都像一颗炸弹,在全球半导体行业炸开了花。
“光刻工厂采用同步辐射光源技术,已实现7纳米制程芯片的稳定量产,良品率92.3%。5纳米制程芯片已完成工程验证,良品率78.6%,预计2020年底实现量产。3纳米制程芯片的预研工作已启动,技术路线可行。”
“光刻工厂的单台设备年产能,相当于ASML最先进EUV光刻机的12倍,单位成本仅为ASML设备的四分之一。”
“光刻工厂的核心设备、材料、软件,全部实现国产化。其中,同步辐射光源、光刻胶、掩膜台、EDA设计软件均由银河科技独立开发,拥有自主专利版权。”
“目前,光刻工厂已与中芯国际、华虹集团、长存存储、长鑫存储等国内主要芯片制造企业签订供货协议,2020年订单总额超过500亿元。”
消息一出,全球半导体行业地震。
ASML的股价在开盘后十分钟内暴跌12%,触发熔断。
东京电子的股价跌了9%,信越化学跌了7%,应用材料跌了11%,泛林跌了10%。
整个费城半导体指数,一天之内蒸发了超过2000亿美元。
而在国内,A股半导体板块集体暴涨。
中芯国际涨停,华虹半导体涨9%,北方华创涨8%,整个半导体指数涨了5%。
逼乎上,一个认证为“中芯国际工程师”的用户发了一条帖子,标题是《我来说说光刻工厂意味着什么》。
“很多人以为,光刻工厂就是一台大号的EUV。不是的,完全不是。EUV是点光源,光刻工厂是面光源。点光源一次只能照一个芯片,面光源一次能照一大片。这就好比,EUV是毛笔,一笔一笔画;光刻工厂是印刷机,一印一大张。效率根本不在一个量级。”
“更关键的是,面光源的稳定性和均匀性
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